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石墨烯单晶实现批量国产 有望推动微电子技术变革(股)

  • 来源:互联网
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  • 2020-06-18
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据报道,中科院上海微系统与信息技术研究所谢晓明研究员团队“十年磨一剑”,在高品质石墨烯电子材料制备方面取得多项突破。该团队与上海市石墨烯产业技术功能型平台合作,通过建设创新实验室,实现8英寸石墨烯单晶晶圆、4英寸锗基石墨烯晶圆、大面积六方氮化硼介质薄膜的中试生产。该研究项目近日获得上海市自然科学奖一等奖。

石墨烯是一种新型碳材料,与硅基材料相比,优势明显:一是单层石墨烯的厚度仅为0.27纳米,在半导体工艺制程方面,遵循摩尔定律的发展潜力比硅基材料大得多;二是石墨烯的晶体结构让自由电子迁移不受束缚,电子运行速度达到1/300光速,比硅芯片快100

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