【芯观点】“买光刻机即涨停”时代终结 光刻胶资本市场理性回归？

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“光刻胶+光刻机”的王炸组合，在A股市场曾有呼风唤雨的魔力，国产光刻胶公司凭一纸“购得光刻机”公告便录得“20厘米”涨停的刺激还历历在目，但时间仅过去了一年，相同的配方，威力却已不再——

近日，晶瑞电材在与投资者互动时表示，近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试。消息披露当日，该公司股价涨超7%，但在随后几日连续阴跌。市场反应的先扬后抑，与一年前大相径庭。

事实上，在今年8月爆出“你算老几门”之前，光刻胶概念也仍然是A股“最靓的仔”之一。到如今的局面反转，8月这波冷水的功劳功不可没，逐渐有更多人意识到，光刻胶国产替代，光刻机真不是那个坎。

买光刻机≠光刻胶量产在即 漫长验证周期仍需等待

光刻机在光刻胶的研发、产品验证以及后续的大规模量产过程中，是必不可少的检验检测设备之一。据爱集微从某半导体业内资深人士处了解到，为了尽量排除产线上的不确定因素，一般光刻胶厂商会选择代工厂主流型号。

虽然晶瑞电材并未透露此次购买的光刻机型号，但据上述业内人士了解，该设备是从格芯的新加坡工厂购得，“算是热机，拉回去通电就能用。”目前国内包括北京科华、南大光电、上海新阳等厂商，购买的均为ASML二手设备。

至于为何是二手设备，原因与多数人想象的“卡脖子”无关，而在于价格，根据公司公告，南大光电2020年4月购得的ASML 193nm二手浸没式光刻机造价高达1.4亿元人民币，上海新阳今年3月购得的ASML-1400二手光刻机也超过上亿元人民币。

型号要与代工厂产线适配、价格要选择性价比相对更高的二手设备，这些所谓的“难点”让一种不够理性的观点，一度占据上风：即光刻胶厂商成功购得光刻机，就意味着其跨过了产品量产的最大门槛，正式向代工厂供货便指日可待。

然而事实却远非如此。从本质上来看，即使光刻机对光刻胶生产流程来说必不可少，但毕竟仅用于光刻性能的检测，购买光刻机这一举动本身，仅能证明公司确实在做相关产品的研发等一系列工作，但“做不做的出来不知道”。

“购得光刻机”和“光刻胶量产供货”之间的鸿沟，从光刻胶厂商的动态中也可窥知一二：

例如晶瑞电材“一台光刻机一个涨停板”的神话——自年初购得ASML XT 1900 Gi型光刻机设备用于研发28nm ArF湿法光刻胶至今，该项目披露的进展仍然是“启动”；

例如首个实现国产ArF光刻胶突破的南大光电，则早在2020年4月即购得ASML 193nm二手浸没式光刻机用于研发193nm ArF湿法光刻胶，但至今尚未量产。公司最新表示，目前仍在进行客户认证，至于具体量产时日还需根据客户订单决定。

需要明确的是，这并不是说国产光刻胶国产替代遭遇困境，因为作为半导体制造最关键材料之一，光刻胶从验证到量产周期相当漫长，验证过程一般1-3年才能批量供货，并且取得验证后，还需要进行参数和工艺反复修改才可获取客户批量订单。

笔者想要阐明的是，无论是资本市场亦或是行业内外人士，对于光刻胶国产化，或许仍需要更多的耐心和更漫长的等待。“一台光刻机一个涨停”的时代结束，或许正是理智回归后，更多人以理性视角看待光刻胶国产化的印证。

然而，新的问题又来了——如果不是设备，国产光刻胶的坎究竟是什么？

光刻胶两大坎——原材料、资金投入

最大的坎在于原材料，这也是光刻胶真正具有“卡脖子”风险的环节。在微米级甚至纳米级图形加工中，对光刻胶产品的基本要求为具备高分辨率、高感光度、精确对准、低缺陷密度，这些要求背后，是对光刻胶配方和原材料近乎苛刻的选择。

集微咨询（JW insights）认为，发力半导体光刻胶，需要考虑整个材料供应链的一个安全问题，或是考虑规避风险，不然核心原材料都在国外，做光刻胶实际就是一个“空中楼阁”，万一关键的原材料卡掉断供的话，光刻胶是否是国产实际也没有什么太大区别。

据华创证券整理，光刻胶主要是由光刻胶树脂（聚合物）、增感剂（包括光引发剂、光增感剂和光致产酸剂）、溶剂、单体（活性稀释剂）和其他助剂组成，用量占比分别为10-40%、 1-6%、50-90%，单体和其他助剂用量小于1%。

其中，树脂是光刻胶的基本骨架，南大光电副总经理毛智彪博士曾表示，原材料中最难做的材料就是成膜树脂，决定了光刻胶产品的光刻性能和刻蚀性能。而树脂是高分子材料，需要对纳米级材料的控制，对微观领域有深刻的理解才能做到光刻胶的材料。

增感剂则作用于化学反应过程中，对产品的感光度，分辨率等起决定作用，树脂与增感剂合计占超过光刻胶50%的成本，但前者由日本垄断，后者由德国垄断，国内目前碍于核心技术匮乏，国产化率仅为0-10%，瓶颈明显。

在光刻胶进入国产替代周期的背景下，包括上述公司在内的产业链公司，实际上也已同步开始了原材料的布局。集微咨询调研发现，国产光刻胶正逐步形成了一个原材料配套产业链，围绕树脂、单体、光引发剂等原材料，核心玩家有了很清晰的材料配套目标。

不过，这些布局距离见效或许还将有些时日。除了核心技术壁垒之外，最大的难点在于，由于应用环境多样，光刻胶产品往往难以标准化，甚至需要针对代工厂特别定制，这不仅给光刻胶厂商带来挑战，也需要有更多的原材料品种能够适配。

第二个坎在于资金。正如前文所述，光刻胶厂商即使是向代工厂购置的二手主流设备，造价也普遍接近或超过上亿元。原材料成本也不遑多让，例如丙二醇甲醚醋酸酯，头部厂商巴斯夫在国内具有高定价权，其在2020年均价达到近1万元/吨。

高成本投入后，国内厂商面对的依然是一个不算太大、且几乎已被巨头瓜分完毕的市场。数据显示，目前占据光刻胶最大份额的ArF和KrF市场，前者由日本JSR、信越化学、东京应化、住友化学占据82%，后者由东京应化、信越化学、JSR和杜邦占据85%。

再加上反复提到的验证周期漫长，这些特质都使得光刻胶成为投入回报率低且短期经济效应不显著的产业，这对于被推至风口的光刻胶厂商来说，更是在诸如技术、资金等客观因素之外，对其重压下决策能力的重大考验。

写在最后

可以肯定的是，国产光刻胶目前所面对的瓶颈，绝非是“一台光刻机”能够解决的。正如毛智彪博士所说，国产光刻胶需要建立起从原材料到光刻胶产品的产业链，并且持续投入对原材料的研发，才能支撑起长久健康的发展。

就目前来看，国产替代的进程已不可谓不迅速，随着晶圆厂对国产光刻胶态度的积极转变，国内诸如北京科华、晶瑞电材、南大光电光刻胶产品都已经或供货在即，强力新材、圣泉集团、彤程新材、徐州博康等原材料厂商正逐渐崛起。

但，仍需耐心和时间。韩国的失败案例正在眼前反复提醒，即使是拥有三星、SK海力士等巨无霸IDM的韩国，仍在光刻胶自主化上难以短时见效，中国厂商所面临的压力可想而知。“买光刻机即涨停”的终结，某种意义上来说，或许正是光刻胶理性时代的开始。（Yuki）

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