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丰田合成成功研制6英寸氮化镓衬底

  • 来源:互联网
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  • 2022-03-17
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据外媒报道,在日本环境省牵头的一个科研项目中,丰田合成与大阪大学合作制备出 6 英寸高质量 GaN (氮化镓)衬底。

据称,丰田合成依托其过往研究经验,开发出一种钠与镓在液态状态下生长氮化镓单晶的方法。

上述机构接下来将对 6 英寸衬底的批量生产进行评估,并将尝试进一步增加晶圆尺寸。(乐川)

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