突破卡脖子难关，浙江民企参研低温真空泵获02专项立项
由浙江博开机电科技有限公司作为项目分承研方的低温真空泵，获得“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项（02专项）立项。
浦江县人民政府网站显示，博开机电为浦江县科创园的孵化类小微科技型企业，公司有多年的低温真空泵研制研发和产品工程化经验，通过对标国外先进产品刻苦攻关，已设计出具有自主知识产权和符合极大规模集成电路设备应用的低温真空泵产品。
文中称，该项目总研制经费约为12600万元，中电第十六研究所作为总承研方，浙江博开机电科技有限公司作为分承研方，预计投入经费为3150万。目前，公司集成电路低温真空泵“博开冷泵”技术研发进展顺利。（乐川）
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